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2121特殊体育先进 碳化硅单晶衬底
衬底电学性能决议了下游芯片功效与性能的优劣，为使质料能知足差异芯片的功效要求，需要制备电学性能差异的碳化硅衬底。
凭证电学性能的差异，碳化硅衬底可分为高电阻率的半绝缘型碳化硅衬底，和低电阻率的导电型碳化硅衬底。

4H n-type

4H-导电型碳化硅单晶衬底

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4H Semi-Insulating-type

4H-半绝缘型碳化硅单晶衬底

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